常见的金属靶材有哪些?

我们都了解,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类比较多,有金属类、合金类、氧化物类等等,用的行业也有所不同,应用很广泛。那么常见的金属靶材有哪些?下面我们一起了解一下。

常见金属靶材的种类如下：

常规金属靶材镁Mg、锰Mn、铁Fe、钴CO、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡Sn、铝AL

小金属靶材铟In、锗Ge、镓Ga、锑Sb、铋Bi、镉Cd

难熔金属靶材钛Ti、锆Zr、铪Hf、钒V铌Nb、钽Ta、铭Cr、钼Mo、钨W、铼Re

贵金属靶材金Au、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱lr、钌Ru、铑Rh、锇Os

半金属靶材碳C、硼B、碲Te、硒Se

稀土金属靶材钆Gd、钐Sm、钸Ce、钇Y、镧La、镜Yb、铒Er、铽Tb、钬Ho、铥Tm、钕Nd、镨Pr、镥Lu、铕Eu、钪Sc

陶瓷靶材氧化锌铝AzO、氧化铟锡∏O、氧化锌ZnO、氮化铝AN、氮化钛TN、氮化硼BN、钛酸钡 Batio3、钛酸铋 Bilio3、碳化硅SiC、钛酸锶 Srtio3、碳化钛TC、碳化钨WC、铌酸锂 Linbo3

合金靶材金锡合金AuSn、金锗镍合金 AuGeNi、锌铝合金ZnAl、铝铜合金AlCU、钴铁硼台金 Cofeb、铁锰合金FeMn、铱锰合金lrMn 锆钛合金Z「T、镍铬合金NiCr、铜钢镓合金 Cuin ga、铜锌锡硫合金CZTS